产品规格书

直径

50.8mm

76.2mm

100mm

厚度

350μm

625μm

625μm

表面晶向

<100> ± 0.5°

正面状态

Epi-polished

反面状态

SSP:Etched; DSP:Epi-polished

总厚度偏差TTV

<10μm

弯曲度Bow

<15μm

边缘去除

≤3 mm

导电类型

N-Type

P-Type

Insulating

掺杂元素

S-doping

Zn-doping

Fe-doping

电阻率

N/A

N/A

>0.5E7ohm-cm

位错密度(EPD)

＜5000/cm²

＜500/cm²

＜5000/cm²

载流子浓度

(0.8-8)*E18/cm³

(0.8-8)*E18/cm³

N/A

电子迁移率

1000~2500cm²/v.s

50~100cm²/v.s

>1000cm2/v.s