主要特点：

▏In-Feed磨削方式。

▏精密进口滚珠丝杆、直线导轨，Z向精密控制， 高精度

机台长时间保持。

▏ 全自动上下料、传输定位、清洗 干燥，实现全自动运行

模式，大大降低OP工作量。

▏ 稳定的超薄减薄加工。

▏ 双主轴，三工作盘，加工效率高。可同时进行粗精磨加工

▏ 兼容性好，与市面上的其他类型设备，关键耗材兼容性高。

▏ 便捷的操作与人机交互界面

先进功能：

☑ 超薄晶圆加工及传输功能；
☑ 工作台自动清洗功能；
☑ 实时高精度接触式晶圆测厚功能；
☑ 操作日志记录功能；
☑ 二流体清洗功能；
☑ 真空预警与真空管路去水功能；
☑ 主轴磨削力实时监测功能；
☑ 适应不同尺寸，可选加工多种规格；
☑ *工厂自动化模块；

☑ *软件定制。

☑ 可用于残片的减薄

☑ 具有磨轮研磨牙齿突出量计算并报警程序

☑ 具有多项安全与保护功能，设备前后面配备至少一个EMO紧急停止按钮