外延片参数

第1层厚度： 250-350nm

第2层厚度：  200±20nm

第2层载流子浓度：1~3×1017cm-3

衬底参数

掺杂：Fe

晶面 ：（010）

双晶摇摆半高宽：≤350“

尺寸：10mm×15mm

尺寸偏差：<±0.3mm

厚度偏差：<±0.05mm

产品外形示意图