晶圆产品参数

电学参数  

UID：1×1016~5×1017 cm-3；Sn：≥1×1018 cm-3；Fe：绝缘≥1×1010 Ω·cm

晶面：(100)

电学参数  

UID：1×1016~5×1017 cm-3；Sn：≥1×1018 cm-3；Fe：绝缘≥1×1010 Ω·cm

晶面：(100)

双晶摇摆半高宽：≤150”

位错密度：<1×105 cm-2

目前参考尺寸：2 inch

参考边：[010]方向

加工指标  

晶面偏差：<±1°；直径：50.8 mm±0.3 mm；厚 度： 0.65 mm ± 0.05mm；单面抛光，Ra<0.5 nm

产品外形示意图

电学参数  

UID：1×1016~5×1017 cm-3；Sn：≥1×1018 cm-3；Fe：绝缘≥1×1010 Ω·cm

晶面：(100)

双晶摇摆半高宽：≤150”

位错密度：<1×105 cm-2

目前参考尺寸：2 inch

参考边：[010]方向

加工指标  

晶面偏差：<±1°；直径：50.8 mm±0.3 mm；厚 度： 0.65 mm ± 0.05mm；单面抛光，Ra<0.5 nm