影响

       当氧存在于晶体硅中时，在后续的热处理过程会使氧发生偏聚和沉淀，形成氧沉淀、氧施主等缺陷。

       氮元素在硅材料中浓度超标时会产生Si3N4颗粒，导致细晶的产生，进而影响太阳能电池的性能。

GDMS

气体元素

       GDMS灵敏度非常高，采用液氮制冷的方式，把离子源维持在低温环境中，可以有效降低辉光放电室中的干扰分子，同时提高辉光放电的稳定性，降低热效应所造成的基体效应，GDMS拥有高真空度，可达1.0E-9mbar及以下，气体背景非常低，气体元素检出限可以达到10个 ppb级别。