苏州博宏源设备股份有限公司
  • 苏州博宏源
    参考报价:电议
    型号:32BF-4M5P精密研磨抛光设备
    产地:江苏
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  • 详细介绍:


    一、产品用途

     

        主要用于半导体、蓝宝石、玻璃、陶瓷片、晶体材料及其他硬脆材料的高精度双面研磨,尤其对于超薄工件的加工具有明显的优势。

     

    二、安装条件

     

    序号

    项目

    指标要求

    1

    环境

    室内地面平坦、无振动源、无灰尘烟雾污染

    2

    水源

    纯水或自来水

    3

    电源

    约70kW  AC380V  50Hz(总功率)

    4

    气源

    压缩空气源 0.6Mpa,接口φ16mm(外径)

    5

    温度

    10℃-25℃

    6

    相对湿度

    ≤95%

    7

    外形尺寸(长x宽x高)

    3700x3000x4100mm(含地脚高度及电器柜尺寸)

    8

    主机重量

    28000Kg

    9

    主机颜色

    BH白或订制

     

     

    三、主要特点

     

    序号

    项目

    特点

    1

    压力控制

    运动控制器+压力传感器+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力控制,上盘**使用压力1200Kg,精度可达2%

    2

    上盘调心

    采用万向节结构,调心灵活,承载力高

    3

    上盘防落装置

    双重机械锁定,安全性更高

    4

    高精度速度控制

    自编程实现低速平稳、启停同步运转控制,内外齿圈采用伺服控制,速度控制更精准

    5

    精密传动系统

    高精度小齿隙全齿轮传动

    6

    下盘支撑

    高精度流体轴承支撑

    7

    免维护设计

    齿轮采用自动集中润滑装置,关键器件采用进口知名品牌,轴承留有润滑接口

    8

    强制散热系统

    轴流风机排热方式,并预留抽风接口,用户可自行连接

    9

    清洗便捷

    低台面、半裸式接液盆

    10

    同步升降

    齿圈太阳轮同步升降,采用伺服电机拖动,可自动或手动调节高度,延长使用寿命

    11

    游轮精确定位

    齿圈太阳轮采用伺服电机拖动,可实现游轮的精确定位

    12

    水液分离装置

    水液切换程序控制,自动分离,操作便捷,清洗水可自动排放

    13

    整机减振

    防振式结构设计安装,设备更稳定

    14

    防护设计

    齿圈、太阳轮采用不锈钢制作,接液盆,托盘、抛盘等接触到工作液的地方均喷涂特氟龙

    15

    供液系统

    桶体设有排污口,具备温度、液位监测,具有加热和冷却功能,具有液泵和搅拌泵,出口设有过滤器,管路设有流量监测,能在线实时检测流量

    16

    自动测厚

    设备装有机械测厚系统,能在线实时检测工件加工厚度

    17

    分级管理

    密码分级管理,不同人员具有不同的操作权限

    18

    工艺适用性

    程序控制

    可储存多套工艺参数,每套工艺可达20步,工艺参数设置包括(压力、时间、速度、速比、缓降压力、浮动时间等)

     

    速比搭配

    四电机独立同步拖动,上下盘、内齿、外齿(即可正转,也可反转)转速可任意设定,具有配方功能