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单面精密晶圆铜抛机
报价:面议
品牌: 梦启半导体
产地: 广东
关注度: 82
型号: 单面精密晶圆铜抛机
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产品介绍

设备优势

◎ 本设备为单面精密研磨设备,采用先进的机械结构和多种先进控制方法。研磨加工效率高,运行稳定。


◎ 整机采用PLC+触摸屏控制系统,设备参数设置和操作简单方便,系统运行稳定性高。


◎ 主电机采用变频调速控制,实现主机软启动、软停机,降低设备运行冲击,减少工件损伤。


◎ 工件研磨压力采用气缸加压方式,通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制,保证极高的施压精度与稳定性。


◎ 上压盘采用主动驱动方式,在确保产品研磨速率的前提下保证各工位研磨加工的统一性。


◎ 研磨盘冷却水冷却功能,在保证研磨液发挥**效率的同时减少研磨盘面的变形。


◎ 设备自带盘面修整机,盘面修整后可保证0.01mm的盘面平整度。


性能参数

参数名称单位DL-ST855/4L
主电源V三相 380
主电机功率KW15
修面机功率KW0.2
修面速度mm/min0~180
主电机转速RPM0~110
上盘驱动电机转速RPM0~70
研磨盘尺寸mm855
加工尺寸2-8
工作工位4
工件盘尺寸
mmΦ305x15
单工位压力Kg20~300
抛光液流速L/min15(可调)
主盘温度检测±5
设备尺寸(W x D x H)mm1200x2150x2250
设备重量Kg约2600


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深圳市梦启半导体装备有限公司为您提供梦启半导体单面精密晶圆铜抛机,单面精密晶圆铜抛机产地为广东,属于半导体行业专用仪器,除了单面精密晶圆铜抛机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供全自动超精密晶圆减薄机、全自动高速Micro LED芯片分选机、单面CMP抛光机。
工商信息
企业名称

深圳市梦启半导体装备有限公司

企业类型

信用代码

91440300MA5GLNRF27

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