设备优势
◎ 采用固态蜡熔蜡方式，精确、定量滴蜡。
◎ 加热冷却盘内部采用精密加热和自动冷却系统，可精确控制盘面温度。
◎ 采用独立气缸压片方式，精密气压控制，可精准控制蜡厚。
◎ 贴片后的TTV≤5um。
性能参数
| 参数名称 | 单位 | DL-SL305A | DL-SL360A |
| 晶圆尺寸 | in | Ø4'' (Ø2''/Ø4'') | Ø6'' (Ø4''/Ø6'') |
| 陶瓷盘尺寸 | mm | Ø305x15 | Ø360x15 |
喷蜡量
| g | 0.1~0.35 | 0.1~0.35 |
| 加热盘温控范围 | ℃ | 60~180 | 60~180 |
上蜡厚度TTV
| um | ≤5 | ≤5 |
| 喷蜡重复定位精度 | mm | ±0.05 | ±0.05 |
| 喷蜡精度 | g | ±0.02 | ±0.02 |
| 加压气缸 | Kg | 500~1000 | 500~1000 |
| 设备尺寸（W x D x H） | mm | 1350x1350x1700 | 1550x1550x1900 |
| 设备重量 | Kg | 约800 | 约1000 |
