可对应高精度少量的研磨加工

应用:

半导体材料:Si、Ge、GaAs、蓝宝石、SiC、InP、GaN、MEMS、陶瓷基板等

精密光学:光学晶体、光学镜头、玻璃基板、ITO玻璃、蓝宝石玻璃、滤波材料等

晶体材料:铌酸锂、钽酸锂、YAG、石英、红外材料等