产品介绍

多模态表面缺陷检测仪(MMDI-2000)，结合全口径缺陷快速识别与子孔径高灵敏度、高分辨率显微成像的检测方式，对表面缺陷尺度、位置、形态进行统计分析，并可结合使用光热弱吸收、显微成像等不同模态检测用户关注的缺陷区域，获取关注区域的缺陷信息;也可以利用微分干涉相衬显微成像技术，实现凸起和凹坑的区分。