1

操作方式

手动

2

管路数

1管

3

加工晶圆尺寸

4-6寸

4

适用工艺

VGF/VB 工艺

5

控温精度

±0.2℃/＞1280℃恒温区内

6

控温模式

Spike控温+Profile串级控温

7

控制系统结构

一体工控机+PLC

8

报警保护:

具有超温报警，断偶报警，气体互锁，气体缓启动等功能