1

操作方式

手动

2

管路数

1管

3

加工晶圆尺寸

4-6寸

4

适用工艺

多晶合成

5

工艺温度范围

800-1250℃

6

恒温区长度

300-800mm

7

控温精度

±0.2℃/＞1280℃恒温区内

8

单点温度稳定性

±0.2℃

9

温度校准功能

具有预先写入偏差值快速拉温区功能