1

操作方式

手动

2

管路数

1管

3

加工晶圆尺寸

4-6寸

4

适用工艺

单晶生长

5

工艺温度范围

800-1250℃

6

恒温区长度

300-800mm

7

控温精度

±0.2℃/＞1280℃恒温区内

8

单点温度稳定性

±0.2℃

9

温度校准功能

具有预先写入偏差值快速拉温区功能

10

进出料方式

手动

11

控温模式

Spike控温

12

控温点数

4-6点

13

真空机组：

直连泵

14

系统极限真空度：

＜10Pa 

25

抽速：

抽至极限真空时间＜10Min。

16

高压腔设计压力

5MPa

17

工作压力范围：

10 mTorr~500mTorr可调

18

控制系统结构

一体工控机+PLC

19

报警保护:

具有超温报警，超压报警，断偶报警，气体互锁，气体缓启动等功能