青岛育豪微电子设备有限公司
  • 育豪微电子
    参考报价:电议
    型号:水平加热炉体
    产地:山东
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  • 详细介绍:


    一.产品概述:

    水平加热炉体主要应用于:卧式扩散/氧化/退火炉等加热设备上的关键加热部件,根据用户具体工艺要求制作,或按照我公司设计制作,可满足用户的需求。


    二.产品参数类型:

    设备性能指标

    1

    结构方式

    水平

    2

    控温点数

    1-9点

    3

    加热炉体内径

    150-550mm

    4

    适用工艺

    扩散(磷扩、硼扩)、氧化(干氧、合成)、玻璃钝化(GPP)、退火、合金、铝预沉积

    5

    工艺温度范围

    600-1280℃

    6

    恒温区长度

    300-3000mm

    7

    加热炉丝线径

    1-10mm

    8

    加热炉丝品牌

    北京首钢HRE/HYZ、瑞典Kanthal A-1/APM

    9

    保温棉材料

    摩根 陶瓷含锆纤维棉

    10

    外壳材质

    SUS304/铝材


    三、产品主要特点和优势

    1★炉体采用瑞典康泰尔加热炉丝,保温棉为英国摩根品牌,可长时间使用温度在1300℃以内,一年内炉体内部不会出现塌陷、断裂等问题。

    2★炉体内部温度稳定性±0.5度。