1

工位数

1-2管（可依据实际生产工艺设计）

2

额定温度

900℃

3

工艺温度

500℃-800℃

4

加热温区段

3-5段独立控温，（可依据实际生产工艺设计）

5

系统极限真空度

≤5*10-4Pa