1

操作方式

立式

2

管路数

1管

3

加工晶圆尺寸

6-12寸

4

适用工艺

扩散（镓扩）、玻璃钝化（GPP）、退火、合金

5

温度校准功能

具有自动校准温区功能，具有预先写入偏差值快速拉温区功能（选配）