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立式扩散炉
报价:面议
品牌: 育豪微电子
产地: 山东
关注度: 81
型号: 立式扩散炉
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:其他

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产品介绍

设备性能指标

1

操作方式

立式

2

管路数

1管

3

加工晶圆尺寸

6-12寸

4

适用工艺

扩散(磷扩、硼扩)、氧化、退火、合金、铝预沉积

5

温度校准功能

具有自动校准温区功能,具有预先写入偏差值快速拉温区功能

6

控温模式

Spike控温+Profile串级控温

7

控制系统结构

一体工控机+PLC

8

报警保护:

具有超温报警,断偶报警,气体互锁,气体缓启动等功能

设备主要特点和优势

1★具有强大的操作功能,windows界面,显示屏操作,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺状态;配有故障自诊断软件,可大大节省维修时间;

2★采用可靠性工控机+PLC模式,对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化;

3★程序可以实现手/自动工作,在停电或中途停机后,再次启动可以根据工艺手动升温,节省工艺时间;





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青岛育豪微电子设备有限公司为您提供育豪微电子立式扩散炉,立式扩散炉产地为山东,属于粉体焙烧炉,除了立式扩散炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供在线式连续真空炉、高温管式炉、磷化铟多晶合成炉。
工商信息
企业名称

青岛育豪微电子设备有限公司

企业类型

信用代码

91370214679063197B

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

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