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卧式真空扩散炉
报价:面议
品牌: 育豪微电子
产地: 山东
关注度: 239
型号: 卧式真空扩散炉
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:其他

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产品介绍

设备性能指标

1

操作方式

根据客户操作可定左/右手操作

2

管路数

1-4管

3

加工晶圆尺寸

4-8寸

4

适用工艺

扩散(镓扩)、玻璃钝化(GPP)、退火、合金

5

温度校准功能

具有自动校准温区功能,具有预先写入偏差值快速拉温区功能(选配)

6

控温模式

Spike控温+Profile串级控温

7

控制系统结构

一体工控机+PLC

8

系统极限真空度

<10Pa 

9

工作压力范围

100Pa-10Pa可调

10

报警保护

具有超温报警,断偶报警,气体互锁,气体缓启动等功能


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青岛育豪微电子设备有限公司为您提供育豪微电子卧式真空扩散炉,卧式真空扩散炉产地为山东,属于粉体焙烧炉,除了卧式真空扩散炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供磷化铟多晶合成炉、立式LPCVD低压气相沉积炉、磷化铟单晶生长炉。
工商信息
企业名称

青岛育豪微电子设备有限公司

企业类型

信用代码

91370214679063197B

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成立日期

注册资本

有效期限

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