1

操作方式

根据客户操作可定左/右手操作

2

管路数

1-4管

3

加工晶圆尺寸

4-8寸

4

适用工艺

扩散（镓扩）、玻璃钝化（GPP）、退火、合金

5

温度校准功能

具有自动校准温区功能，具有预先写入偏差值快速拉温区功能（选配）

6

控温模式

Spike控温+Profile串级控温

7

控制系统结构

一体工控机+PLC

8

系统极限真空度

＜10Pa 

9

工作压力范围

100Pa-10Pa可调

10

报警保护

具有超温报警，断偶报警，气体互锁，气体缓启动等功能