1

操作方式

根据客户操作可定左/右手操作

2

管路数

1-5管

3

加工晶圆尺寸

4-8寸

4

适用工艺

扩散（磷扩、硼扩）、氧化（干氧、合成）、玻璃钝化（GPP）、退火、合金、铝预沉积

5

工艺指标

氧化膜厚均匀性（膜厚5000Å）

IW≤2%，W2W≤3%，R2R/D2D≤3%

6

温度校准功能

具有自动校准温区功能，具有预先写入偏差值快速拉温区功能

7

控温模式

Spike控温+Profile串级控温

8

控制系统结构

一体工控机+PLC

9

报警保护:

具有超温报警，断偶报警，气体互锁，气体缓启动等功能