SiC衬底激光剥离设备是一款基于SPARC激光技术实现碳化硅衬底高效剥离的设备，能够实现对SiC晶锭的精准定位、均匀加工、连续剥离。该设备适用于不同厚度和尺寸的SiC衬底加工，为SiC衬底的生产提供了革新的解决方案，有效降低SiC材料的切片损耗，提升加工速度，助力SiC衬底行业的降本增效。