测量/计量仪器

• 3D激光轮廓测量系统（点激光版）
• 晶圆边缘轮廓仪 LC-WEP200
• 卧式-视觉测量系统
• 150mm大视野-视觉测量系统
• 50mm视野-视觉测量系统
• 刹车盘检测（双激光）
• 晶圆厚度测量仪
• 晶圆边缘轮廓仪
• AC电机综合测试仪
• 激光F0测试系统(标配）
• 激光F0测试系统（高精度）
• 3D激光轮廓测量系统（线激光版）
• 自动弹波变位测量系统
• 手动弹波变位测试系统
• 自动天平测量系统

其他

• 专用膜片F0