广东大族半导体装备科技有限公司
  • 大族半导体
    参考报价:电议
    型号:飞秒激光增强玻璃蚀刻通孔机(FLEE-TGV)
    产地:广东
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  • 详细介绍:


    主要特点:

    设备特点:

    1、国内率先导入TGV工业量产

    2、加工直径**12’’、厚度≤1mm

    3、高性能、高可靠性飞秒激光

    4、高性能控制系统,实现高效率高精度加工能力

    5、搭载自主研发光学模组,适应多种材料,孔圆度≥95%

    6、多种轨迹生成与加工方式,智能化人机交互

    主要参数:

    主要参数加工尺寸≤205*205mm
    加工速度80-120mm/s
    加工精度±5μm
    平台参数400mm*250mm
    激光器参数20W IR PS
    Tact time

    效率:≥650个/S
    (以间距0.2mm,直径0.05mm计算, 圆孔直径根据产品要求与酸洗工艺相关。)

    稼动率0.98
    良率>98%

    加工效果: