主要特点：

设备特点：

采用高精度二维直线电机平台，DD马达晶圆双臂搬运机器人，全自动视觉定位，设备配置标刻内容校验功能 

主要参数:

加工效果：

全自动晶圆ID打标设备

设备型号：DSI-G-WMN6021-A

应用范围：适用于2-6寸、4-8寸、8-12寸Si、SiC、InP、GaSb、GaN、Sapphire、Glass、LT等材料的晶圆裸片标记二维码，一维码或字符等