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刷片清洗机
报价:面议
品牌: 大族半导体
产地: 广东
关注度: 255
型号: 刷片清洗机
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产品介绍

主要特点:

设备特点:

1、清洗机可以提供持续稳定的液体压力输出,以保证工艺效果和产能

2、在不损伤图形的前提下,提供较强的兆声波能量,加速液体分子冲击力,以去除深孔、深沟槽内的污染物

3、液体流量、压力以及温度等参数控制的稳定性,为产品的一致性提供了有力支撑

主要参数:


主要参数

片盒数量

2CS&2LP

配置

4 cleaning unit

wafer 类型

圆片,方片

wafer 尺寸(mm)50-300
产能(WPH)120(正面)
化学药液

IPA、弱酸碱、DIW

衬底材料Si、Glass、Sapphire、GaN、GaAs、SiC、LiTaO3、Li3PO4
适用工艺Pre/Post clean
干燥模式Spin Dry+N2 Dry


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工商信息
企业名称

广东大族半导体装备科技有限公司

企业类型

信用代码

91440300MA5ERHJL5B

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