主要特点：

设备特点：

1、堆叠式高产能架构，占地面积小

2、配备多段回吸的多腔体共用供胶系统，有效节省光刻胶的用量

3、选配高精度热板、WEE、AOI等单元部件，满足更高标准工艺需求

4、核心单元模块化设计，组合方式灵活多变，**限度客制化

5、满足工厂FA自动化需求

6、可以与主流光刻机联机