气体检测气相色谱仪分析方案：

分析CF4 O2 N2 CO CO2 N2O SF6

准确分析≤200PPM 检测精度≤1ppb

色谱条件：

仪器：气体检测氦离子气相色谱仪

高纯氦气净化器

色谱柱：3根

载气：氦气

分析O2、N2、CO、H2及CH4混合气体色谱条件：

仪器：GC-90气相色谱仪（带TCD检测器）

色谱柱：5A分子筛填充柱  40-60目

温度：柱温60℃   检测室100℃    汽化室100℃

载气：空气

进样量：1ml    

分析丙烯及其杂质

色谱条件：

仪器：GC-90气相色谱仪（带TCD检测器）

色谱柱：AL2O3

温度：柱室120℃   检测室120℃    汽化室120℃

载气：H2

进样量：3ml