适用范围：

精密光学玻璃，蓝宝石衬底片，蓝宝石窗口片，铌酸锂，钽酸锂，氧化铝陶瓷基板，氮化铝陶瓷基板，氧化锆陶瓷，精密五金，3C，砷化镓，氮化镓，磷化铟，锗片，硅单晶衬底片，碳化硅晶片等元件的研磨抛光。