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等离子化学气相沉积系统-PECVD
报价:面议
品牌: 助研仪器
产地: 安徽
关注度: 3120
型号: 等离子化学气相沉积系统-PECVD
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助研仪器半导体行业专用仪器

助研仪器等离子化学气相沉积系统-PECVD

国产半导体行业专用仪器

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产品介绍

等离子化学气相沉积系统-PECVD

ZYE-1200-PE

为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)。它是由500W射频电源、1200℃单温区管式炉、三通道质量流量混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统用于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜等

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技术参数
型号ZYE-1200-PE
工作温度**温度:1200℃(使用是必须通入惰性气体以防炉管发生形变)工作温度:1100℃推荐升温速率:≤10℃/min
控温精度±1℃
配置炉管尺寸Φ50(外)×1200mm(其他可定制)
炉膛尺寸

Φ80×280mm

加热区加热长度:220mm 恒温区长度:60-80mm(±3℃)
控制方式PID控制和自整定调节功能,智能化30段可编程控制,具有超温及段偶功能K型热电偶,可安装PC控制软件对数据进行实时采集(需另购)
密封系统不锈钢密封法兰(包括316L针阀、真空机械压力表、软管接头)
加热元件北京首钢HRE
**功率3kW
供气系统三路高精度MFC 量程0-500sccm(按客户需求定)
射频电源射频功率:5-500W 射频频率:13.56MHz 匹配方式:自动匹配
真空系统双级旋片真空泵(可定制扩散泵 分子泵等)
额定电压单相AC220V 50/60Hz
外形尺寸1600*600*1200mm(长*宽*高)


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产品小贴士

等离子化学气相沉积系统-PECVD由安徽助研仪器有限公司提供,产地为安徽,属于国产半导体行业专用仪器,符合多项国家和国际标准,广泛应用于石油/化工、矿业/冶金、综合其他等领域,等离子化学气相沉积系统-PECVD凭借其创新性与实用性,在半导体行业专用仪器用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分),入选半导体行业专用仪器近30天热度榜。

根据助研仪器官方产品资料显示:等离子化学气相沉积系统-PECVD的品牌为助研仪器。

客户服务热线:400-810-0069转1958(售前/售后支持)
官方链接:
https://m.cnpowder.com.cn/ns35178/productsdetail_367831.html
来源:安徽助研仪器有限公司
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工商信息
企业名称

安徽助研仪器有限公司

企业类型

信用代码

91340100MA8QGEQ06U

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