高纯石墨主要通过化学气相沉积、高温石墨化、化学剥离等方法制备而成。其中，化学气相沉积法是目前制备高纯石墨的主要方法之一，该方法利用化学反应在基材表面上沉积石墨薄膜，并在高温下石墨化形成高纯度的石墨材料。

高纯石墨的应用非常广泛，如在电池中用作电极材料、在半导体制造中用作热扩散板、在涂层中用作导电涂层等。此外，高纯石墨还常被用于制造高温炉、真空炉等高温设备的热源和支撑材料以及作为航空、航天和国防等领域的材料。