双层立式石英管水冷结构提供稳定的长晶环境，利于生长高品质晶体，上下温度实时精确监控便于工艺调试，采用上下双测温精确监控提供更优的工艺调整。
技术参数
生长工艺
PVT
生长尺寸
6-8英寸
产品类型
非标定制
加热方式
感应加热（中频感应加热）
**温度
2400℃
控制方式
PLC集成控制
系统极限真空度
≤5.5×10-5 Pa (经烘烤除气后)
系统真空检漏漏率
≤5.0×10-7 Pa.l/S
冷却方式
循环水路系统
系统停泵关机12小时后真空度
≤3Pa
