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感应氮化铝
报价:面议
品牌: 中科汉达
产地: 辽宁
关注度: 21
型号: 感应氮化铝
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产品介绍

感应式PVT AlN生长设备是自主研发的感应式加热炉,具有高稳定性、高真空度和精确控制系统的AlN晶体生长系统,适用于商业化批量生长大尺寸AlN晶体,可实现AlN晶体的同质和异质外延生长。

技术参数

生长工艺

PVT

产品类型

非标定制

加热方式

感应加热(中频感应加热)

**温度

2400℃

系统停泵关机12小时后真空度

≤5Pa

控制方式

PLC集成控制

系统极限真空度

≤8×10-5 Pa (经烘烤除气后)

系统真空检漏漏率

≤5.0×10-7 Pa.l/S

冷却方式

循环水路系统

控压范围

20-80kpa


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沈阳中科汉达科技有限公司为您提供中科汉达感应氮化铝,感应氮化铝产地为辽宁,属于氧化铝粉,除了感应氮化铝的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供电阻法、水平式长晶炉、腔体合成炉。
工商信息
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沈阳中科汉达科技有限公司

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