设备采用电阻加热及热场结构，温场均匀、稳定。内壁氩弧焊接，内表面镜面抛光，反射热量，减少功率损耗，减少气体附着。自主研发控制系统，实现自动化稳定、安全、操作便捷。
技术参数
生长工艺
PVT
生长尺寸
6-8英寸
产品类型
非标定制
加热方式
电阻式加热
**温度
2400℃
系统停泵关机12小时后真空度
≤3Pa
控制方式
PLC集成控制
系统极限真空度
≤5.5×10-5 Pa (经烘烤除气后)
系统真空检漏漏率
≤5.0×10-7 Pa.l/S
冷却方式
循环水路系统
