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水平式长晶炉
报价:面议
品牌: 中科汉达
产地: 辽宁
关注度: 27
型号: 水平式长晶炉
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:其他

最高温度:1100℃

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产品介绍

HVPE生长系统是自主研发的一台功能强大,耐用,可靠的气相外延生长系统,适用于大尺寸、高质量商业化GaN的同质/异质外延生产。内置新研发的控制系统和多温区加热系统,支持配方功能,方便工艺参数调用及储存,设备结构简单,操作方便,实用性强,能够满足大规模体块GaN的商业化生产需求。

技术参数

生长工艺

HVPE法

产品类型

非标定制

加热方式

电阻式加热/感应式加热

**温度

1100℃

恒温区尺寸

100mm

控制方式

PLC集成控制

系统真空检漏漏率

≤5.0×10-7 Pa.l/S

冷却方式

循环水路系统


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沈阳中科汉达科技有限公司为您提供中科汉达水平式长晶炉,水平式长晶炉产地为辽宁,属于粉体焙烧炉,除了水平式长晶炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供电阻法、感应氮化铝、腔体合成炉。
工商信息
企业名称

沈阳中科汉达科技有限公司

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