生长工艺

HVPE法

产品类型

非标定制

加热方式

电阻式加热

**温度

1100℃

恒温区尺寸

100mm

控制方式

PLC集成控制

系统真空检漏漏率

≤5.0×10-7 Pa.l/S

冷却方式

循环水路系统