主要特点

电感加热式物理气相传输SiC生长炉

双壁水冷石英管

2英寸，100mm或150mm晶圆工艺

高温计控制和电源控制，保证生长炉稳定运行

自动PLC控制、带工艺、触屏、安全互锁/警报等功能

远程监测和控制

占地空间*小的SiC生长炉