BRAVERY 3000

光调制反射晶圆检测系统

BRAVERY 3000 是具有巨大市场价值的新型晶圆缺陷检测设备，其采用光调制反射技术，可实现对晶圆的非接触、无损伤、在线、快速、内部检测，精准诊断与定位晶圆缺陷，该产品对有/无图案晶圆均适用，可填补当前国内市场离子注入工艺非接触检测设备的国产化空白，实现晶圆注入质量特性检测量产化。

产品特点

非接触非破坏性

有/无图案晶圆皆适用

可作为在线检测设备

无需测前与测后处理，超快检测速度

软件检测操作简单

主要应用

各种离子注入及退火工艺的质量监控

刻蚀等工艺对晶圆损伤的质量监控

产品优势

自研产品，可定制化

可自动生成wafer map等可视化数据