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CFD系列精细流量调节的化学液补充系统
报价:面议
品牌: 易威奇
产地: 广东
关注度: 222
型号: CFD系列精细流量调节的化学液补充系统
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产品介绍

高分辨率

*小流量达1mL/shot,为晶圆清洗过程中所需的化学凝结控制,提供更高的准确性。

CFD系列能提供准确流量,防止过量添加或液体浪费。此外,防虹吸设计防止意外吸入。

耐腐蚀过流端

氟材质口过流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能够处理半导体加工所用的强酸、强碱和双氧水。

针对化学腐蚀,PTFE / PFA / PP / PVC材质外部零件和PTFE涂层螺丝能提供额外的保护。

宽广的吐出率调节

打开底盖可轻松在1.0-2.7ml/shot之间调节冲程长度 (出厂默认设定是1.0ml/shot)。

配备泄漏传感器

每台泵都配有泄漏传感器,可实时检测任何泄漏情况。

**吐出量

1 mL/shot

**吐出压力

0.05 MPa

**冲程率

30 spm

主要材质

PTFE, PFA, PCTFE

液体输送温度范围

20 ~ 60 °C


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易威奇有限公司为您提供易威奇CFD系列精细流量调节的化学液补充系统,CFD系列精细流量调节的化学液补充系统产地为广东,属于泵,除了CFD系列精细流量调节的化学液补充系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供无泄漏磁力泵、MDM 系列 耐异常运行的流程磁力泵、MXM 系列 具有卓越防腐性、耐用性 、安全性的流程磁力泵。
工商信息
企业名称

易威奇有限公司

企业类型

信用代码

914401166184781290

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