高速冲程

高速冲程 (FS-80N**达200 spm)，让结构紧凑、重量轻、成本低，可同时用于高流量及高压力

工况。

无污染设计

过流端采用氟树脂无污染构造，使用独有的轴封显著降低颗粒的产生(已申请**)。

高流量及高吐出压力

**吐出量高达0.7MPa，不仅满足化学供药过程中高流量及高吐出压力的需求，同时适用于清洗

及CMP制程。

传感器驱动系统

内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制

吐出量。