单位

SDA50

SDVA70

抽气速率Pump speed（50/60HZ）

L/min

700/833

1000/1200

m³/h

42/50

60/72

极限压力 Ultimaate Pressure

Torr

7.5*10-3

mbar

1*10-2

Pa

1

马达 Motor

额定功率 Rated power

Kw

2.2

2.2

底压功率 Ultimate Pressure Power

Kw

1.9

1.9

管路连接 Connnection

入气口  Inlet

DN40

DN40

出气口  Outlet

DN25

DN25

*低流量 Min.Flow

L/Min

**压力 Max.Pressure

kg/cm3

压力差 Pressure Dif.

kg/cm3

温度 Temp.

℃

接头

氮气（选配）  N2

压力 Pressure

Mpa

0.05-0.2

流量  Flow

slm

6-10（sealing gas）

0-50（Dilute）

接头 Connection

Swagelok 1/4''

尺寸

长*宽*高 L*W*H

mm

重量 Weight

Kg