 锐昇聚创 |
参考报价：电议 型号：MR系列半导体
产地：江苏 在线咨询
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MR系列
专为LL 工艺设计。
抽气速率：100-180m³/h
**小的体积 **的功耗
**经济的维修保养费用
项 目 机型 | 单位 | MR100 | MR180 | |
抽气速率Pump spoodx50/601 | L/min | 1660 | 3000 | |
极限压力Utimoate Pressure | Pa | 1.5 | ||
底压功率UItimate Prossure Power | KW | 0.7 | 1 | |
管路连接 Connection | 入气口 | KF50 | KF50 | |
KF25 | KF25 | |||
冷却水 Cooling water | L/MIN | 2-3 | ||
温度 Temp | ℃ | 10-25 | ||
尺寸Dim. | 长x率×高 | mm | 450×230×275 | 550×280×299 |
重量Weight | kg | 60 | 95 | |
