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MR系列半导体
报价:面议
品牌: 锐昇聚创
产地: 江苏
关注度: 25
型号: MR系列半导体
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产品介绍

MR系列

专为LL 工艺设计。

抽气速率:100-180m³/h

**小的体积 **的功耗

**经济的维修保养费用

                   机型

单位

MR100

MR180

抽气速率Pump spoodx50/601

L/min

1660

3000

极限压力Utimoate Pressure

Pa

1.5

底压功率UItimate Prossure Power

KW

0.7

1

管路连接

Connection

入气口


KF50

KF50




KF25

KF25

冷却水

Cooling water


L/MIN

2-3


温度 Temp

10-25

尺寸Dim.

x率×高

mm

450×230×275

550×280×299

重量Weight

kg

60

95


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