主要特点

◆产能:2200~2880pcs/管

◆管数:6管

◆压力控制:APC控制方式

◆系统控制:PLC和PC工控机

◆通讯:Melsec,MES,I/O,SECS-II等

◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方案

工艺规范

◆方阻值:50~350 Ω/cmsq

◆极限真空:≤20mbar

◆方阻均匀性:<5%(片内/片间/批间)