超大规模集成电路制造设备，工艺时间短，生产效率高，具有出色的工艺性能达到**。

应用领域

◎ VLSI集成电路制造

产品优势

◎晶片(片/批次)150片

◎ 晶片高速搬送系统，实现高吞吐量

◎ 精密的热场控制，气体控制系统

◎ 工艺周期短，生产效率高

外形尺寸及重量

◎ 外形尺寸(参考):4330mm*900mm*3305 mm(长*宽*高)

◎ 重量:2500Kg