高温氧化炉
报价:面议
品牌: 赛瑞达
产地: 江苏
关注度: 36
型号: 高温氧化炉
核心参数

额定温度:1380℃~1500℃

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:氧气

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产品介绍

SiC与GaN晶圆氧化工艺设备,工艺时间短,生产效率高,具有出色的工艺性能。

设备特点

◎ 型号:OXIDE150

◎ 工艺温度:1380℃~1500℃

◎ 工艺气体:H₂/N₂O/NO/O₂/Ar₂/N₂

◎ 工艺压力:100mbr-Atmospher

◎ 晶圆尺寸:≤150mm

◎ 产能:25或50 片/批

◎ 正常UP Time:98%

◎ 全自动化系统和MES服务


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赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司为您提供赛瑞达高温氧化炉,高温氧化炉产地为江苏,属于粉体焙烧炉,除了高温氧化炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供真空焊接炉、低压硼扩散炉、光伏用炉体。
工商信息
企业名称

赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司

企业类型

信用代码

91320200MA26UEDD7C

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成立日期

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