高温退火炉
报价:面议
品牌: 赛瑞达
产地: 江苏
关注度: 404
型号: 高温退火炉
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:其他

展位推荐
更多  
产品介绍

主要适用于SiC/GaN等各类器件的高温退火活化工艺。

设备特点

◎ 型号:Activate 150

◎ 工艺温度:1800℃~2050℃

◎ 工艺气体:H₂/N₂O/NO/O₂/Ar₂/N₂

◎ 工艺压力:1*10-3mbar

◎ 晶圆尺寸:≤150mm

◎ 产能:25或50 片/批

◎ 正常UP Time:98%

◎全自动化系统和MES服务

产品优势

◎ 高温退火活化工艺时间约4小时

◎ 工艺室具备DCE自清洗功能

◎ 良好的温度均匀性和厚度均匀性


问商家
相关产品
更多  
PE-CVD系统

型号: PE-CVD系统

面议
低压硼扩散炉

型号: 低压硼扩散炉

面议
HJT吸杂炉

型号: HJT吸杂炉

面议
真空焊接炉

型号: 真空焊接炉

面议
推荐产品 供应产品
赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司为您提供赛瑞达高温退火炉,高温退火炉产地为江苏,属于粉体焙烧炉,除了高温退火炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供闭管软着陆扩散炉、低压硼扩散炉、立式扩散炉。
工商信息
企业名称

赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司

企业类型

信用代码

91320200MA26UEDD7C

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

分类

留言咨询

留言类型

需求简述

联系信息

联系人

单位名称

电子邮箱

手机号

图形验证码

点击提交代表您同意《用户服务协议》《隐私协议》