设备主要特点

◎ 串级控温系统，恒温区高精度

◎ 具有高抗干扰能力

◎ 具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置

★支持SECS/GEM通讯

主要技术参数

◎ 可配工艺管数量:1~4管/台

◎ 工作温度范围:200℃~800℃

◎ 恒温区长度:300~11000mm

◎ 单点温度稳定性:±1℃/24h

◎ **可控升温速度:15℃/min;

◎ **降温速度:3℃/min