产品说明

全自动晶圆刷洗机QX-2000为半导体晶圆刷洗的专用设备，主要用于清洗衬底表面及背面的尘粒，设备仓位可根据客户要求配置。先用PVA刷子刷洗，配合二流体及化学液（根据客户要求配置），经甩干后可有效去除晶圆表面的粉尘颗粒等残留物。

产品优势

• 灵活

• ① 可加工4/6英寸和6/8英寸不同材料的晶圆

• ② 尺寸兼容性高，无需切换配件

• ③ 可根据客户要求定制腔位

• 高产

• 通过旋转机械手在同一腔位完成正反面刷洗，效率高

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• 高产量

• ① 通过旋转机械手在同一腔位完成正反面刷洗，效率高

• ② 5分钟可刷完一片（以6寸碳化硅为例），产量大

• 清洗效果显著

• 通过刷片功能可将晶圆颗粒数量控制在30颗（0.3um）以下

• 应用工序多

• 可应用不同种类晶圆的刷洗工艺，过程刷洗和*终刷洗

产品规格