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晶圆上蜡机AET-2000B
报价:面议
品牌: 江苏晶工
产地: 江苏
关注度: 68
型号: 晶圆上蜡机AET-2000B
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产品介绍

产品说明


全自动晶圆上蜡机AET-2000B为半导体晶圆材料的上蜡设备,通过气缸和气囊共同作用下压片,

贴蜡平整度可达2um,可兼容248mm、360mm和485mm陶瓷盘。

采用高效机械手和精密级执行机构,控制系统稳定,重复定位精度高,产能大。

产品规格


项目

参数

型号

AET-2000B

晶圆尺寸

2-6英寸/4-8英寸

材质品种

碳化硅、蓝宝石、磷化铟等晶圆

涂蜡方式

离心

加热方式和精度

电热管、±1℃

压贴方式

气囊

上下料方式

高效机械手及自动传送臂

机械手夹持方式

陶瓷手指真空吸附

加热盘温控范围

40-80℃

贴片后平整度

≤2um

喷蜡重复定位精度

±0.05mm

喷蜡精度

±0.02g

装载单元

双工位

设备重量

L2600mmxW1200mmxH1930mm;1100Kg

自动化要求

半自动:机械手自动取片,手动卸片、搬运和清洗陶瓷盘

全自动:机械手自动取片、卸片、陶瓷盘搬运和清洗


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江苏晶工半导体设备有限公司为您提供江苏晶工晶圆上蜡机AET-2000B,晶圆上蜡机AET-2000B产地为江苏,属于定制加工件,除了晶圆上蜡机AET-2000B的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供全自动晶圆倒角机MET-5800、全自动晶圆刷洗机QX-2000、全自动倒角机MET-5600。
工商信息
企业名称

江苏晶工半导体设备有限公司

企业类型

信用代码

91320681MA7DULBU8X

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注册资本

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