产品说明

全自动晶圆单片清洗机QX-6800为半导体晶圆清洗的专用设备，通过化学药液清洗，可有效去除衬底片/外延片表面及背面的尘粒、剥离晶圆表面的金属离子以及其他有机物，设备腔位可根据客户要求配置。