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全自动晶圆倒角机MET-5800
报价:面议
品牌: 江苏晶工
产地: 江苏
关注度: 72
型号: 全自动晶圆倒角机MET-5800
核心参数

重量(kg):300kg

规格外形(长*宽*高):L3300×W2200×H2200mm

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产品介绍

产品规格


项目

参数

晶圆尺寸

12英寸(Notch)

晶圆厚度

250um-1000um

工位

双工位

晶圆参考面形状

R形、双R形、T型、台阶状等

设备尺寸和重量

L3300×W2200×H2200mm;3000kg

磨削X/Y/Z轴精度

X.Y.Z轴精度:±1um

陶瓷吸盘平面精度:±3um

吸盘轴径向精度:±1um

砂轮轴径向精度:±1um

砂轮外径沟部

φ200mm

砂轮外径

φ202mm

砂轮安装内径

φ30mm

砂轮厚度

20mm

砂轮转速

4000r/min或8000r/min(根据客户要求选择)

Notch砂轮转速

50000-160000r/min

校正机构

测量方式

非接触式或机械测厚(根据客户要求选择)

分辨率

1μm

对中精度

20μm


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工商信息
企业名称

江苏晶工半导体设备有限公司

企业类型

信用代码

91320681MA7DULBU8X

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成立日期

注册资本

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