产品说明

全自动晶圆倒角机MET-5600为半导体晶圆材料的边形倒角设备，具有丰富的可选功能。设备具有高精度，高质量磨削表面，极小料损，晶向定位准确，运行状态稳定等特点。设备兼容性强，直径4寸、6寸、8英寸都可加工，适用于硅、磷化铟、砷化镓、碳化硅、蓝宝石、键合晶圆、玻璃晶圆等晶圆材料。

产品优势

• 灵活

• ① 可加工4-6-8英寸不同材料的晶圆

• ② 尺寸切换方便

• ③ 系统软件可根据客户工艺要求进行设置

• 高精

• 自主研发的精密主轴精度可达1um

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• 稳定

• 自主研发的软件系统采用非接触式对中和测量方式，确保设备运行稳定。

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• 加工规格多

• 预留9个小图的空位

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产品规格